GSS600超聲掃描顯微鏡-半導(dǎo)體行業(yè)

超聲掃描顯微鏡（SAT）是一種利用超聲波為傳播媒介的無損檢測(cè)成像設(shè)備，主要利用高頻超聲波，對(duì)各類半導(dǎo)體器件、材料進(jìn)行檢測(cè)，能夠檢測(cè)出樣品內(nèi)部的氣孔、裂紋、夾雜和分層等缺陷，并以圖形的方式直觀展示。在掃描過程中，不會(huì)對(duì)樣品造成損傷，不會(huì)影響樣品性能，可滿足陶瓷基板、IGBT、水冷散熱器、電池、半導(dǎo)體、電器焊接件、金剛石復(fù)合材料、碳纖維復(fù)合材料等產(chǎn)品質(zhì)控需求。

1.1 產(chǎn)品名稱

超聲掃描顯微鏡

1.2 數(shù)量

1臺(tái)

1.3 規(guī)格型號(hào)

型號(hào)	機(jī)器示意圖
SHSIWI GSS600

注：上圖僅供參考，實(shí)際產(chǎn)品可能會(huì)有所差別

1.4 機(jī)電特性

機(jī)電特性	規(guī)格型號(hào)
整機(jī)尺寸	1000mm×900mm×1400mm
水槽尺寸	620mm×650mm×150mm
有效掃描范圍	350mm×300mm×100mm
******掃描速度	600mm/s
圖像推薦分辨率	1～4000um
定位精度	X/Y≤±0.5μm，Z≤±5μm
重復(fù)定位精度	X/Y≤±0.01mm，Z≤±0.02mm
上下水	水壓注水，水泵排水。

二、廠務(wù)安裝條件

2.1 設(shè)備尺寸

設(shè)備整機(jī)尺寸1000mm（長(zhǎng)）×900mm（寬）×1400mm（高）。安裝方案基于空間占用小和維護(hù)/服務(wù)條件優(yōu)化的需要，保證在設(shè)備周圍留有500mm的空間，可以方便工作人員進(jìn)行操作、維護(hù)。

2.2 電腦桌

設(shè)備配有電腦桌，用于安放鼠標(biāo)、鍵盤及顯示器。用戶也可自行配備。

2.3 電力供應(yīng)

工作電源：220V±10%/50Hz，1~2KW

另外，設(shè)備配有UPS電源，以保護(hù)設(shè)備運(yùn)行安全。

2.4 水源：

設(shè)備需要自來水、去離子水或者純凈水，并且需要定期更換。水溫要求：15～30℃

2.5 環(huán)境相對(duì)濕度：35℃≤50％RH

2.6 環(huán)境溫度要求：20～35℃

2.7 周邊環(huán)境：

不要放在強(qiáng)磁場(chǎng)、電磁波和產(chǎn)生高頻設(shè)備的旁邊。

減少振動(dòng)。

灰塵少、濕氣少，沒有腐蝕性氣體的地方。

電源的變化，限制小。

為了防止地震的損壞，四周一定要固定。

三、設(shè)備主要配置表

序號(hào)	名稱	規(guī)格
1	掃描系統(tǒng)	X軸：直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)；Y軸：伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)；Z軸：步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)
2	水槽	620mm x 650mm x 150 mm
3	超聲發(fā)射、接收器	帶寬1-65MHz
4	高速數(shù)據(jù)采集卡	采樣頻率 500MHz
5	超聲探頭	本機(jī)型可適配100MHz及以下頻率的探頭；本機(jī)型標(biāo)配50MHz0.5in探頭一只；透射模組T-scan一套；
6	工控機(jī)	i5處理器、內(nèi)存8GB、硬盤1T、Win10 64位操作系統(tǒng)。
7	顯示器	兩個(gè)27"液晶顯示器
8	檢測(cè)軟件	思為超聲無損檢測(cè)軟件V2.0

四、半導(dǎo)體芯片封裝分層檢測(cè)能力

測(cè)量能力	能力描述
標(biāo)準(zhǔn)塊測(cè)量誤差	測(cè)量機(jī)械加工的標(biāo)準(zhǔn)塊，在軟件進(jìn)行強(qiáng)度校準(zhǔn)的前提下，超聲檢測(cè)多次測(cè)量誤差在±1%。
工件測(cè)量誤差	選取TO系列、SOT系列、SOP等系列工件，采用同一處方且檢測(cè)量程不變的情況下分別調(diào)整增益22dB、26dB、30dB進(jìn)行檢測(cè)，三次檢測(cè)結(jié)果釬著率差值在±1%以內(nèi)。
厚度測(cè)量范圍	Epoxy材料： Cu材料： 0.5 ~ 2mm（50MHz探頭） 0.5 ~ 1.4mm（25MHz探頭） 1.0 ~ 4.0mm（15MHz探頭） 1.2 ~ 3.7mm（15MHz探頭）注：根據(jù)客戶工件的材料和厚度選配探頭
缺陷識(shí)別能力	在測(cè)量系統(tǒng)厚度能力范圍內(nèi)，被測(cè)材料聲速在標(biāo)準(zhǔn)材料聲速±5%以內(nèi)的情況下，且超聲入射表面為平面的被測(cè)產(chǎn)品的水平方向的結(jié)合缺陷的識(shí)別能力為0.15毫米（15MHz、25MHz探頭）和0.07毫米（50MHz探頭）。

五、軟件功能

軟件功能	功能描述
手動(dòng)掃描	可以通過手動(dòng)的方式生成C掃描圖像，反映被檢焊接結(jié)合面結(jié)合情況，并以釬著率、缺陷面積等數(shù)值的形式顯示檢測(cè)結(jié)果。
探頭與C掃圖像對(duì)位	可通過點(diǎn)擊C 掃圖的具體像素點(diǎn)將探頭移至與實(shí)際被檢工件相對(duì)應(yīng)的位置。
手動(dòng)分析	對(duì)生成的C掃圖片可以進(jìn)行各種編輯，包括加框（確認(rèn)有效分析區(qū)域），測(cè)距，修改閾值，圖片剪裁，弧面補(bǔ)償?shù)取?/span>
多種掃描模式	（1） A掃描：查看超聲反射或透射波形；（2） C掃描：對(duì)焦深度上沿X-Y平面掃描并成像；（3） T掃描：安裝透射探桿，執(zhí)行穿透掃描；（4）區(qū)域掃描：可自定義檢測(cè)區(qū)域，并對(duì)檢測(cè)區(qū)域進(jìn)行掃描；（5）斷層掃描：在指定的多種深度自動(dòng)多次執(zhí)行C掃描并成像；（6）批量掃描：對(duì)放置于水槽中的一種或多種工件進(jìn)行自動(dòng)檢測(cè)。
報(bào)告自動(dòng)生成	可對(duì)檢測(cè)結(jié)果自動(dòng)進(jìn)行編輯并輸出報(bào)告文檔。
探頭管理	可對(duì)不同型號(hào)探頭進(jìn)行更換或編輯。
一鍵自動(dòng)校準(zhǔn)	可自動(dòng)對(duì)檢測(cè)設(shè)備坐標(biāo)偏移及檢測(cè)系統(tǒng)能量變化，能實(shí)時(shí)校準(zhǔn)系統(tǒng)漂移，保證檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。
不銹鋼標(biāo)準(zhǔn)強(qiáng)度	系統(tǒng)自帶滿足GBT 11259-2015《超聲波檢測(cè)用鋼對(duì)比試塊的制作與校驗(yàn)方法》的不銹鋼標(biāo)準(zhǔn)塊。認(rèn)定該不銹鋼標(biāo)準(zhǔn)塊的超聲反射強(qiáng)度=100 STSS（“STainless Steel Standard”的縮寫），其他所有材料的檢測(cè)相對(duì)于STSS做換算。
缺陷檢測(cè)能	焊接缺陷、粘接缺陷、封裝分層、粘片空洞等區(qū)域和良好區(qū)域。可對(duì)缺陷尺寸和面積進(jìn)行自動(dòng)統(tǒng)計(jì)和計(jì)算。也可根據(jù)客戶的要求，提供有償定制開發(fā)服務(wù)。
厚度檢測(cè)	金剛石圓片等工件的金剛石層厚度檢測(cè)。
密度檢測(cè)	粉末冶金原材料密度分布檢測(cè)。
斷層檢測(cè)	對(duì)被測(cè)工件不同深度位置獨(dú)立對(duì)焦和掃描，形成多層斷層圖像，展現(xiàn)立體缺陷。
聲速檢測(cè)	聲音在被測(cè)材質(zhì)中的飛行速度檢測(cè)。

六、標(biāo)準(zhǔn)材料聲速表

材料		聲速（m/s）
鋁	Aluminum	6305
鋼	Steel,common	5920
不銹鋼	Steel,stainless	5740
黃銅	Brass	4399
銅	Copper	4720
鐵	Iron	5930
銀	Sliver	3607
金	Gold	3251
鈦	Titanium	5990
聚氯乙烯	PVC	2388
樹脂	resin	4076
金剛石	diamond	14000
鋅	zinc	4170
有機(jī)玻璃	Organic glass	2730
陶瓷	ceramic	5842
錫	tin	3230
水	water	1500